石墨舟烘箱是根據光伏電子行業石墨舟烘干需要而特別設計的產品，采用耐高溫不銹鋼板,內部涂特氟龍涂層外板采用冷軋板制作,噴塑處理，中間保溫層,采用希斯爾巖棉,保溫層厚度約100mm。

1、使用后的石墨舟的清洗：石墨舟一般在使用100-150次左右需要對其表面的氮化硅進行清洗。建議使用濃度15-25%的氫氟酸溶液，分三個輪次來清洗，每次4-5小時;并在浸泡清洗過程中進行周期性氮氣鼓泡，不銹鋼加工廠，加半小時左右的沖洗;注意：鼓泡不建議直接使用空氣作為氣源。酸洗后用純水漂洗10小時左右，并確認舟體已經徹底清洗干凈。石墨舟烘箱在清洗結束后檢查舟的表面、石墨卡點與舟片結合處、以及其他部位是否還有氮化硅的殘存。然后按照要求進行烘干。

2、清洗后的石墨舟烘箱應先進行風淋或至少吹干一段時間，確保舟表面沒有水滴或水痕，再放進烘箱，請勿直接將剛清洗完的石墨舟放進烘箱。

3、打開包裝前須檢查外包裝是否完好、石墨舟烘箱是否完整;外觀、舟片及陶瓷組件是否有裂紋或斷裂;組件有無缺失。發現外包裝變形或損失以及上述問題的產品應及時供應商。

4、新舟在*次使用前建議使用去離子水+氫氟酸(體積比10%)溶液進行清洗約3-5小時;再用去離子水進行漂洗8-12小時;直到確認舟體沒有酸性成分。可在漂洗后用PH試紙測試用過的水或洗過的舟，以確認清洗結果。然后按照要

求進行烘干。

5、建議在清洗時將舟拆開只對石墨舟烘箱部件進行清洗，這樣能將各個接觸部位清洗得更徹底。目前國內很多廠家采用整體清洗，雖然方便，但由于氫氟酸對陶瓷組件有一定的腐蝕性，整體清洗會縮短相應組件的使用壽命。